PFXAFSのMotorControl機能で、ハッチ内のモータードライバに接続したモーターステージのコントロールが来ます。簡易的なスキャン機能もあります。
標準で利用できる軸
- 実験定盤上下(Z軸)
- I0前スリット左右(X軸)
- 半導体検出器上下
- ライトル検出器上下(ステージ接続時のみ)
- クライオクーラー上下(Z軸)
- クライオクーラー左右(X軸)
- 全反射用5軸ステージ(ステージ接続時のみ)
ユーザー持込装置の接続
モータードライバの空きポートに持込装置を接続することが可能です。
ピンアサインは中央精機のMM40シリーズに準拠します。
各社ステージへの変換も可能です。
事前に担当者に連絡ください。
