トラブル対応 2026/4/28 2026/5/1 測定ソフトウェアが落ちた MSSD用高圧電源が落ちた ビームシャッターが開かない ビーム強度が弱い・安定しない クライオの真空・温度の悪化 Webカメラが表示できない 装置を破損してしまった トラブル時連絡先
